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電子標(biāo)準(zhǔn)氣體的配置工藝

同其他氣體不同，安徽氣體，對(duì)盛裝電子標(biāo)準(zhǔn)氣體的氣瓶的要求十分嚴(yán)格，否則，即便是混合氣體配制的準(zhǔn)確度再高、穩(wěn)定性再好也無法使用。首先混合氣體的氣瓶幾何尺寸如體積、直徑、瓶高度要滿足用戶要求。在半導(dǎo)體等領(lǐng)域，氣瓶通常安放在氣瓶柜內(nèi)使用，超純氣體，氣瓶柜的尺寸及連接的管閥件確定后，氣瓶的高矮胖瘦就不能隨心所欲了。

工業(yè)氣體同其他標(biāo)準(zhǔn)氣體制備不同的是，工業(yè)用氣體，配制電子混合氣體的裝置似乎更為復(fù)雜，電子混合氣體配氣裝置所用的管路必須是EP( 電解研磨) 級(jí)別，特殊氣體，材質(zhì)為316L，精密壓力表或壓力傳感器精度優(yōu)于0. 25 級(jí)，材質(zhì)316L。為確保配制裝置不產(chǎn)生污染使用前要求系統(tǒng):正壓試驗(yàn)1. 5 倍工作壓力，持壓30 min; 真空氦檢漏: ≤10 － 9 atm． cc /s; 系統(tǒng)水分: ≤ － 80 ℃; 微量氧: ≤10 × 10 － 9 ; 顆粒物測(cè)定: ≤1 EA/ft3 at 0. 1μm;≤5 EA/ft3 at 0. 05μm。為了防止產(chǎn)生顆粒物，裝置應(yīng)配有耐高壓、耐腐蝕過濾器
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